2015年9月18日,由費密儀器(FERMI INSTRUMENTS)自主設計的高純氦氣提純系統在上海光源完成安裝并投入使用。
這套氦氣提純系統專為需要高純氦氣源的設備設計,例外等離子放電燈等裝置,可以將市售的5個9 純度的氦氣進一步提純到超過10個9純度。系統采用了4個抽速為400L/s的的NEG泵,可以吸附除惰性氣體外的其他氣體,一次充填容積達到了40L,可以在使用的過程中動態的提純氣氛。對于ARPES等表面分析技術,確保了在真空增量不變的同時減少了活性氣氛的注入,使真空的增量全部為惰性氣氛,可以極大的延長產品的壽命。
HP-1600 氦氣提純系統基本配置
提純原理: NEG吸附劑泵,搭配啟動裝置;
系統配置: 容積超過40L的316L不銹鋼腔體, 搭配烘烤裝置,可以定時定溫烘烤;搭配Swagelok進氣出氣管路及氣壓控制模塊;
NEG啟動后沒有外接抽氣時依賴NEG維持的極限真空,好于1E -8 mbar;
外接接口:
(a) NW40CF 全金屬角閥,用于系統活化及烘烤;
(b) 1/4 inch卡套接頭*2, 一個進氣,一個出氣;
(c) 電子附件: 烘烤電源 *1, 啟動電源*1。
相關照片如下: