北京大學定制蒸發源完成驗收

2015年12月，由費密儀器（FERMI INSTRUMENTS）自主研發的大束流鋁蒸發源完成客戶驗收，已交付北京大學使用。

此定制化蒸發源裝載在用戶的STM系統中，受系統限制，真空內部長度要求非常嚴格，在不能增加外部延長段的情況下真空內部尺寸要求短于190mm，而且要求集成水冷和手動擋板，在工作時不能對襯底產生的熱負載。此外，此蒸發源的用途為生長Al薄膜，用戶要求生長速率能大于1 ? /s，這個已經大于大部分K-cell的蒸發速率。

在多方比較之后，用戶選擇費密儀器作為供應商。經過與用戶的多方確定，費密儀器在現有的EC-2MT的蒸發源的基礎上做了修改，在保證坩堝尺寸的前提下壓縮了真空端尺寸，并在工廠測試中實現了1 ? /s的束流強度，并完成了不同溫度條件下的測試同時為用戶編寫好了針對Al蒸發的操作手冊，可以避免鋁源常見的爬壁現象和坩堝破損的風險。

目前，該蒸發源已經發給用戶使用，實測真空值及束流強度均達到了用戶的目標。

下圖為該蒸發源的示意圖及實測數據：