超高真空互聯系統完成工廠驗收

2015年8月， 由費密儀器自主研發的國內具有自主知識產權的超高真空互聯系統完成工廠驗收，并裝箱運抵哈爾濱工業大學。

隨著表面科學的發展，科學研究對于樣品的清潔程度的要求越來越高，而真正能保證樣品不受污染的只有超高真空的環境，只有在達到超過E-10 mbar的超高真空的環境時，樣品表面的物理化學性質才能保持長時間的穩定。但是如何能在不同的設備之間建立一個超高真空的傳輸走廊一直是一個亟待解決的問題。

費密儀器通過多年的自主研發，搭建了國內超高真空樣品傳遞系統，可以確保樣品在不受污染的情況下做長距離的傳輸，實現了活潑樣品從制備到表征以及在不同表征設備之間的準原位轉移.

此設備主要由以下幾個模塊組成：

• 直線傳樣系統 （產品介紹）

以一個2米長的超高真空腔體為基礎，搭配了一個樣品小車，可以搭載多塊樣品在超高真空中移動，沒有潤滑油脂，采用了先進的自潤滑軸承及傳動技術，而且小車可以自由的穿越閘板閥等組件，可以實現直線傳樣系統的無限擴展。

• 圓形傳樣系統 （產品介紹）

搭配了一個750mm的圓形腔體，同時采用了完全自主研發的機械臂，長行程超過900mm，伸出法蘭距離超過820mm，同時搭配了具有專利技術的樣品抓取頭，可以適應不同取向的樣品的取放工作。是目前全世界技術指標好的圓形傳樣系統。

• 小型分子束外延設備（產品介紹）

具有一體成型的不銹鋼腔體設計，具有多可裝載7路蒸發源的能力，全部搭配了氣動擋板，可以自動進行多層超結構的生長，同時系統的放氣量極少，采用了全磁浮的分子泵及干泵組合，極限真空優于5E-10 mbar， 搭配了四軸樣品臺，樣品高加熱溫度可達1000攝氏度，可以滿足多種薄膜的生長需求，系統還標配了QCM等組件，完全滿足薄膜精確生長的需求。

同時本超高真空系統還具有無限擴展功能，可以外接XPS, ARPES， STM，MBE等各種表面分析手段。助力科學家們實現一個無污染的樣品傳遞環境。

系統照片：