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真空規(guī)

970B 系列冷陰極傳感器系列

MKS 提供范圍寬廣的冷陰極產(chǎn)品。970B 系列為緊湊型、低成本、通用型傳感器系列，采用一至三種傳感器 - 冷陰極、MicroPirani"和壓電技術(shù)。結(jié)合這些傳感技術(shù)，可實現(xiàn)從 10-6 Pa 到大氣的大測量范圍。除了體積小、范圍廣和成本低之外，970B 系列還可以通過數(shù)字通訊或作為自主模擬單元進行操作。該系列包括三種換能器型號，971BUniMag”(冷陰極)、972B DualMag" MicroPirani/(冷陰極)和974B QuadMag"(Piezo/MicroPirani冷陰極)。選件包括本地顯示屏和設(shè)定值繼電器。
970B 系列冷陰極傳感器系列
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