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質(zhì)量流量控制器和儀表

流量比率控制器和質(zhì)量流量驗(yàn)證器

流量比率控制器和質(zhì)量流量驗(yàn)證器，質(zhì)量流量控制器和儀表。

Delta? 流量比率控制器

? 滿量程流量 500 sccm 至 10000 sccm

? 以所需比例分離混合氣體

? 可提供 2、3 或 4 區(qū)流量比控制

? 模擬（適合2區(qū)分離）、EtherCAT 或 DeviceNet 通訊

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