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氣體分析儀

適用于 ALD 和 CVD 工藝的 Vision 2000-A 殘余氣體分析儀

我們有多種多樣的功能強大、用途寬廣且經(jīng)過驗證的基于質(zhì)
譜的解決方案，為真空和氣體相關應用提供了全新的認識和
控制水平。

? 可檢測分壓<2.7e-10 Pa, <2e-12 Torr

? 帶有全金屬密封件和現(xiàn)場可維修部件的模塊化 UniBloc 入口

? 入口溫度高達 200°C（有關高達 300°C 的型號，請咨詢工廠）

? 樣品傳輸管的直接聯(lián)軸器

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