新一代高亮度真空紫外光源在首爾大學(xué)成功驗(yàn)收

2017年1月8日，由費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司完全自主研發(fā)的新一代多氣體高輝度單色化深紫外光源在韓國(guó)首爾國(guó)立大學(xué)（Seoul National University）成功完成安裝驗(yàn)收工作，并交付客戶投入使用。

首爾國(guó)立大學(xué)（Seoul National University，SNU）是韓國(guó)的高學(xué)府，亞洲研究型綜合大學(xué)。此套深紫外光源是根據(jù)SNU客戶高分辨角分辨光電子能譜技術(shù)的需求，在FERMI INSTRUMENTS自主研發(fā)的射頻聚焦等離子激勵(lì)發(fā)光技術(shù)基礎(chǔ)上開發(fā)的高亮度高分辨紫外光源，能夠高效激勵(lì)多種氣體組分（He，Ne，Ar，Kr，Xe，……），輸出光子能量覆蓋8.4eV - 40.8eV。樣品處有效紫外光通量大于E12 photons/sec，各項(xiàng)指標(biāo)高于現(xiàn)有國(guó)際同類產(chǎn)品，受到SNU用戶的高度認(rèn)可和好評(píng)。標(biāo)志著FERMI INSTRUMENTS利用自主研發(fā)的射頻聚焦等離子發(fā)光技術(shù)在深紫外光源領(lǐng)域的重大技術(shù)突破，不但改寫了國(guó)內(nèi)幾十年來相關(guān)產(chǎn)品依賴進(jìn)口的尷尬局面，并且技術(shù)指標(biāo)大幅先了國(guó)際同類產(chǎn)品，開始出口國(guó)外，進(jìn)入世界研究機(jī)構(gòu)。

截止目前為止，F(xiàn)ERMI INSTRUMENTS BL-1000系列深紫外光源已交付的客戶有：復(fù)旦大學(xué)，中國(guó)人民大學(xué)，中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，中國(guó)工程物理研究院等單位；受到了已有客戶的高度認(rèn)可和好評(píng)，并收到了國(guó)內(nèi)外十余家科研單位的熱情關(guān)注。

下圖是安裝現(xiàn)場(chǎng)與歐洲同類產(chǎn)品在相同條件下的對(duì)比測(cè)試結(jié)果，我們的紫外燈獲得的樣品信號(hào)比客戶現(xiàn)有的產(chǎn)品強(qiáng)了10倍

圖1，韓國(guó)首爾國(guó)立大學(xué)測(cè)試驗(yàn)收現(xiàn)場(chǎng)

圖2，F(xiàn)ERMI BL-1000與其它品牌紫外光源測(cè)試對(duì)比

背景介紹：

為解決長(zhǎng)期以來實(shí)驗(yàn)室級(jí)別深紫外光源能量單一、光通量低的問題，F(xiàn)ERMI INSTRUMENTS組織團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難，歷經(jīng)3年多高投入持續(xù)研發(fā)，開發(fā)了較型的高效射頻聚焦等離子激勵(lì)技術(shù)。采用新型高效射頻聚焦等離子激勵(lì)技術(shù)的深紫外光源性能大幅超越了國(guó)際現(xiàn)有同類產(chǎn)品，比現(xiàn)有商業(yè)化產(chǎn)品的效率提高了10倍以上。利用大功率半導(dǎo)體固態(tài)射頻源作為驅(qū)動(dòng)，無需復(fù)雜的高壓點(diǎn)火裝置，更安全可靠；特殊設(shè)計(jì)的射頻場(chǎng)聚焦器，突破了傳統(tǒng)波導(dǎo)諧振腔體大小受波長(zhǎng)特征尺寸的限制，形成毫米級(jí)的局域射頻場(chǎng)，極大的增強(qiáng)了局域場(chǎng)的電場(chǎng)強(qiáng)度；優(yōu)化等離子發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)，大幅提高了紫外光的產(chǎn)生效率。該深紫外光源具有亮度高、能量范圍廣、體積小、易集成的優(yōu)點(diǎn)，極大地滿足了高分辨角分辨光電子能譜儀（ARPES）、原子吸收譜儀等科研儀器對(duì)光源的苛刻需求，也可應(yīng)用于以蛋白質(zhì)檢測(cè)質(zhì)譜為的醫(yī)療設(shè)備中；同時(shí)，該技術(shù)在工業(yè)上也可以廣用于紫外固化、殺菌、高亮度照明工程、高亮度投影儀和特殊用途的強(qiáng)光光源等領(lǐng)域。